金融界3月12日消息,有投資者在互動平臺向中石科技(300684)提問:ASML光刻機的光源系統(tǒng)(如EUV激光等離子發(fā)生器)需在極端溫度下保持穩(wěn)定性,公司的高導(dǎo)熱相變材料(如導(dǎo)熱凝膠)或電磁屏蔽涂料是否已通過國內(nèi)光刻機廠商(如上海微電子)的測試?若未參與,是否因材料純度(如金屬離子雜質(zhì)含量)未達到半導(dǎo)體設(shè)備級標(biāo)準(zhǔn)?
公司回答表示:公司的高導(dǎo)熱相變材料或電磁屏蔽涂料尚未應(yīng)用于光刻機領(lǐng)域。


68705/28








