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訊(王珞)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標結(jié)果公告顯示，2月28日，萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備成功中標某公司特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標項目。嘉芯迦能為嘉芯半導(dǎo)體子公司。自2022年下半年開始，嘉
訊(王珞)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標結(jié)果公告顯示，2月28日，萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備成功中標某公司特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標項目。嘉芯迦能為嘉芯半導(dǎo)體子公司。
自2022年下半年開始，嘉芯半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)的設(shè)備多次中標，包含快速熱處理(RTP)、氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備以及鋁銅金屬濺射設(shè)備(PVD)等。
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