晶盛機電成功發(fā)布6英寸雙片式碳化硅外延設備

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2月4日，晶盛機電（300316）6英寸雙片式碳化硅外延設備新品發(fā)布會落幕，標志著晶盛機電在第三代半導體領域取得重大突破。晶盛機電外延設備研究所所長劉毅介紹，該產(chǎn)品歷時兩年的研發(fā)、測試與驗證，在外延產(chǎn)能、運營成本等方面已取得國際領先優(yōu)勢，與

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