2月4日,晶盛機電(300316)6英寸雙片式碳化硅外延設備新品發(fā)布會落幕,標志著晶盛機電在第三代半導體領域取得重大突破。晶盛機電外延設備研究所所長劉毅介紹,該產(chǎn)品歷時兩年的研發(fā)、測試與驗證,在外延產(chǎn)能、運營成本等方面已取得國際領先優(yōu)勢,與單片設備相比,新設備單臺產(chǎn)能增加70%,單片運營成本降幅可達30%以上。
晶盛機電成功發(fā)布6英寸雙片式碳化硅外延設備
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2月4日,晶盛機電(300316)6英寸雙片式碳化硅外延設備新品發(fā)布會落幕,標志著晶盛機電在第三代半導體領域取得重大突破。晶盛機電外延設備研究所所長劉毅介紹,該產(chǎn)品歷時兩年的研發(fā)、測試與驗證,在外延產(chǎn)能、運營成本等方面已取得國際領先優(yōu)勢,與
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