
高端的光刻機(jī),比如EUV,能夠生產(chǎn)7nm、5nm的制程芯片,低端的光刻機(jī)是沒(méi)法生產(chǎn)的。但是,我國(guó)很多行業(yè)都需要用到高端的芯片,所以國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)一直有國(guó)產(chǎn)替代的需求。但是,高端光刻機(jī)的研發(fā),是沒(méi)那么快的。除了研發(fā)高端的光刻機(jī)之外,還有一個(gè)相對(duì)更容易的路徑,也能夠提升芯片制程,那就是——多重曝光。
之前就有很多關(guān)于多重曝光的討論,不過(guò)A股市場(chǎng)上,一直沒(méi)炒作起來(lái)。但是,最近華為的消息,非常振奮人心。華為近期發(fā)布了Mate 60 Pro,經(jīng)過(guò)多方的確認(rèn),華為Mate 60 Pro,用的是麒麟9000s芯片,中芯國(guó)際代工的N+2技術(shù),采用ASML浸潤(rùn)式DUV 1980Di (光刻機(jī)),多重曝光,生成的7nm工藝。換句話說(shuō),之前多重曝光一直是理論上探討,但是,現(xiàn)在華為的動(dòng)作表明,這項(xiàng)技術(shù)我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了。那么對(duì)于國(guó)內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō),芯片制程突破到了7nm,實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代,情緒上振奮人心,也利好芯片產(chǎn)業(yè)鏈。

再說(shuō)回多重曝光技術(shù),目前主流的多重曝光技術(shù)分為L(zhǎng)ELE、LFLE或SADP。用的是荷蘭ASML浸潤(rùn)式DUV 1980Di 光刻機(jī),LELE、LFLE技術(shù)是將一層電路拆分成幾層進(jìn)行光刻,SADP則是通過(guò)控制沉積和刻蝕過(guò)程中的厚度和形貌,實(shí)現(xiàn)更高的精度。這個(gè)方法,能夠?qū)崿F(xiàn)7nm的芯片制程。但是同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生一定的影響。
第一個(gè)就是會(huì)增加光刻膠的用量。如下圖,通過(guò)四次曝光方式,完成一次圖形轉(zhuǎn)移,曝光次數(shù)明顯增多,光刻膠使用量就大幅增加。因此,光刻膠相關(guān)品種值得關(guān)注,包括容大感光、南大光電等。

下圖是我國(guó)光刻膠行業(yè)國(guó)產(chǎn)化以及進(jìn)口替代情況,當(dāng)下炒作的主要是半導(dǎo)體光刻膠這個(gè)細(xì)分。

另外,多重曝光技術(shù),通常需要反復(fù)進(jìn)行涂膠—光刻—顯影—刻蝕等工藝流程,因此光刻多重曝光技術(shù)的發(fā)展,大大增加了浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積等設(shè)備的潛在需求。A股市場(chǎng)上,半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)品種同樣值得關(guān)注。比如顯影液的格林達(dá)、盛劍環(huán)境;刻蝕機(jī)的中微公司、北方華創(chuàng);薄膜沉積設(shè)備的微導(dǎo)納米等。
另外,無(wú)論是哪種技術(shù)路徑,多重曝光都會(huì)導(dǎo)致良率顯著降低,因此,對(duì)于檢測(cè)設(shè)備的需求同樣會(huì)大幅提升。檢測(cè)設(shè)備相關(guān)品種:廣立微、長(zhǎng)川科技等。
注意:再好的邏輯,也得結(jié)合大環(huán)境、漲跌趨勢(shì)等因素來(lái)選擇介入跟退出的時(shí)機(jī)。以上內(nèi)容僅是基于行業(yè)以及公司基本面的靜態(tài)分析,非動(dòng)態(tài)買賣指導(dǎo)。以上觀點(diǎn)僅供參考,據(jù)此建議風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān),股市有風(fēng)險(xiǎn),入市需謹(jǐn)慎。最后,喜歡我文章的朋友,記得加好關(guān)注,不迷路哦!


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