但日本最終還是下定決心限制23類先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的出口。在今年3月31日的時(shí)候,日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)上就修改了《外匯及外國(guó)貿(mào)易法》。修改之后,日本將限制六大類23種芯片制造設(shè)備出口,這些半導(dǎo)體設(shè)備涉及芯片的清潔、沉積、光刻、蝕刻以及檢測(cè)等。具體包括3項(xiàng)清洗設(shè)備、11項(xiàng)薄膜沉積設(shè)備、1項(xiàng)熱處理設(shè)備、4項(xiàng)光刻/曝光設(shè)備、3項(xiàng)刻蝕設(shè)備、1項(xiàng)測(cè)試設(shè)備,這些設(shè)備涉及到尼康、東京電子等十幾家日本企業(yè)。
根據(jù)日本有關(guān)媒體的報(bào)道,本次追加的23種產(chǎn)品除了面向42個(gè)“友好”國(guó)家和地區(qū)外,其余出口對(duì)象國(guó)家和地區(qū)都需要經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣的個(gè)案審批許可。但是按照美國(guó)和日本簽署的協(xié)議來(lái)看,他們基本上不可能將這些設(shè)備出口到中國(guó)大陸的。中國(guó)芯片行業(yè)能夠頂?shù)米幔?/strong>中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)之一,這幾年國(guó)產(chǎn)芯片發(fā)展非常迅猛,我國(guó)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求量也非常龐大。但是看到中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛崛起,有一些國(guó)家就看不下去了,于是就采取一些非市場(chǎng)化的手段來(lái)限制中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,試圖通過(guò)這種卑劣的手段來(lái)維持他們?cè)诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)先地位。他們對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制可以說(shuō)是越來(lái)越嚴(yán),剛開(kāi)始主要是限制部分企業(yè)采購(gòu)設(shè)備,后來(lái)限制一些芯片大廠代工中國(guó)大陸最先進(jìn)的芯片,再到后來(lái)干脆直接限制先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備向中國(guó)出口了。如果外部限制向中國(guó)出口半導(dǎo)體先進(jìn)設(shè)備,這對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)影響確實(shí)是比較大的,因?yàn)槟壳拔覈?guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴度還是比較大的。
看到這很多人都替國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擔(dān)心,甚至懷疑國(guó)產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)能否頂?shù)米。?/p>針對(duì)這個(gè)問(wèn)題,我們來(lái)看一下日本限制出口的一些設(shè)備以及國(guó)產(chǎn)的替代率就知道答案。半導(dǎo)體制造是一個(gè)非常復(fù)雜的產(chǎn)業(yè),可以說(shuō)是全球最復(fù)雜的生產(chǎn)工藝之一,所以在制造的過(guò)程當(dāng)中所需的設(shè)備非常龐大,而且很多設(shè)備都是只有少數(shù)國(guó)家才能生產(chǎn)。根據(jù)VLSI Research之前發(fā)布的一份數(shù)據(jù)顯示,在整個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(chǎng),美國(guó)占比達(dá)到41.7%、日本占比31.1%、荷蘭占比18.8%。
相當(dāng)于全球91%左右的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)被美國(guó),荷蘭和日本所霸占,尤其是在高端半導(dǎo)體設(shè)備上面,他們占據(jù)的份額更高。假如這些國(guó)家完全禁止向中國(guó)出口一些先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的,對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的影響確實(shí)是比較大的,我們來(lái)對(duì)比幾項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代率就知道。1、光刻機(jī)。光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)過(guò)程當(dāng)中最核心的一個(gè)零部件之一,光刻機(jī)的工藝制程直接決定著芯片的工藝。而目前全球最先進(jìn)的光刻機(jī)只有荷蘭的ASML能夠生產(chǎn),他們已經(jīng)生產(chǎn)出了7納米紫外線光刻機(jī)(EUV),能夠用于生產(chǎn)5納米,3納米甚至2納米的芯片。但是目前ASML是不能向我國(guó)出口EUV光刻機(jī)的,而且按照他們跟美國(guó)日本簽署的協(xié)議,未來(lái)還有可能原禁止向中國(guó)出口DUV光刻機(jī)。而此次日本出臺(tái)的限制措施,日本尼康和佳能的先進(jìn)光刻機(jī)也不能向中國(guó)出口,如此一來(lái)中國(guó)連14納米生產(chǎn)工藝都會(huì)受到影響,短期內(nèi)無(wú)法找到替代方案。目前我國(guó)真正已經(jīng)量產(chǎn)的光刻機(jī)只有90納米,雖然我國(guó)有部分企業(yè)已經(jīng)研發(fā)出了28納米的光刻機(jī),但目前還處于試驗(yàn)階段,還沒(méi)有正式量產(chǎn)。如果未來(lái)國(guó)產(chǎn)28納米光刻機(jī)正式投入量產(chǎn),通過(guò)工藝上改進(jìn),可以用于生產(chǎn)14納米的芯片,但是7納米以下的芯片仍然無(wú)法生產(chǎn)。
2、蝕刻機(jī)。相對(duì)于光刻機(jī)來(lái)說(shuō),我國(guó)蝕刻機(jī)受影響倒是不會(huì)很大,目前我國(guó)蝕刻機(jī)最先進(jìn)水平已經(jīng)達(dá)到5納米,而且5納米以下蝕刻機(jī)技術(shù)也實(shí)現(xiàn)了突破。只不過(guò)從整體來(lái)說(shuō),目前國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)的市場(chǎng)份額相對(duì)比較小,在全球蝕刻機(jī)市場(chǎng),90%以上的市場(chǎng)份額被泛林集團(tuán),日本東京電子和美國(guó)應(yīng)用材料三家企業(yè)霸占,國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)供應(yīng)商中微以及北方華創(chuàng)只占了小部分的市場(chǎng)份額。但隨著日本以及美國(guó)禁止向中國(guó)出口這些先進(jìn)設(shè)備,這倒是會(huì)給國(guó)內(nèi)企業(yè)帶來(lái)更多的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。
3、沉積設(shè)備。沉積設(shè)備在芯片制造過(guò)程當(dāng)中也是非常關(guān)鍵的,而且沉積設(shè)備設(shè)計(jì)的設(shè)備種類非常繁多,包括PVD設(shè)備,CVD設(shè)備,ECD設(shè)備、ALD設(shè)備等等。目前全球大部分沉積設(shè)備市場(chǎng)都是被美國(guó)的應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)和日本東京電子所占據(jù),但國(guó)內(nèi)也有很多企業(yè)可以替代,包括北方華創(chuàng)、上海中微、拓荊科技都能夠生產(chǎn)相關(guān)沉積設(shè)備。4、清洗設(shè)備。清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備,槽式清洗設(shè)備,批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備,洗刷器等等。目前全球的先進(jìn)清洗設(shè)備主要被日本的Screen Semiconductor Solutions、東京電子、美國(guó)泛林集團(tuán)、三星SEMES、SK海力士Mujin公司所占據(jù)。但國(guó)內(nèi)也有部分廠家能夠生產(chǎn)出8~12寸晶圓的清洗設(shè)備,如果日本限制向中國(guó)出口這些設(shè)備了,國(guó)產(chǎn)相關(guān)企業(yè)能也能夠替代上來(lái)。
5、檢測(cè)設(shè)備。目前半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備主要被美國(guó)科磊半導(dǎo)體、應(yīng)用材料、日立等一些美國(guó)和日本企業(yè)占據(jù),這兩個(gè)國(guó)家占據(jù)全球半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)份額至少達(dá)到90%以上。但我國(guó)國(guó)內(nèi)也有相關(guān)企業(yè)能夠生產(chǎn)出一些中低端的設(shè)備,包括中科飛測(cè),上海精測(cè)等企業(yè)都有較強(qiáng)的實(shí)力,如果半導(dǎo)體清洗設(shè)備被禁止出口到我國(guó)了,國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代部分市場(chǎng)的。從整體來(lái)說(shuō)除了光刻機(jī)等一些核心設(shè)備之外,其實(shí)芯片生產(chǎn)過(guò)程當(dāng)中所使用的大部分設(shè)備我國(guó)都能夠生產(chǎn)。只不過(guò)跟日本、美國(guó)所生產(chǎn)的一些設(shè)備相比,國(guó)產(chǎn)設(shè)備在性能、穩(wěn)定性方面可能有一些差距,所以很多芯片這個(gè)廠家都更傾向于采購(gòu)進(jìn)口設(shè)備,結(jié)果導(dǎo)致目前我國(guó)70%以上的半導(dǎo)體設(shè)備都依賴進(jìn)口。
但如果日本等一些國(guó)家完全禁止向中國(guó)出口這些先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備,也并不是說(shuō)中國(guó)完全就束手無(wú)策,稍微給國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈一些時(shí)間,我相信國(guó)產(chǎn)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代上來(lái)的。至少在14納米以上的芯片工藝當(dāng)中,很多設(shè)備國(guó)內(nèi)都能夠找到相關(guān)的替代方案。另外這次日本禁止向中國(guó)出口的主要是一些先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備,對(duì)一些中低端設(shè)備應(yīng)該是可以正常出口到中國(guó)。所以從整體來(lái)說(shuō),即便日本美國(guó)荷蘭禁止向中國(guó)出口設(shè)備了,影響也僅僅是14納米以下的先進(jìn)芯片工藝,對(duì)一些中低端芯片工藝影響并不會(huì)太大。另外,外部限制向我國(guó)出口半導(dǎo)體設(shè)備也未必見(jiàn)的是一件壞事,所以塞翁失馬,焉知非福。在這些進(jìn)口設(shè)備市場(chǎng)份額減少之后,反而有可能給國(guó)內(nèi)企業(yè)更多的市場(chǎng)空間,一旦國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈有更多的市場(chǎng),有更多的利潤(rùn)了,才能夠有更多的錢(qián)去研發(fā)。所以從長(zhǎng)期來(lái)看,外部限制向我國(guó)出口半導(dǎo)體設(shè)備,反而有利于刺激國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)鏈的發(fā)展。

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